真空燒結(jié)

一．工作原理：

真空燒結(jié)是針對粉狀及塊狀材料進行成型（成品及半成品）燒結(jié)的工藝。

基本工藝過程是：將被燒結(jié)的材料（粉狀或塊狀）放置于真空爐內(nèi)，關(guān)好爐門進行爐內(nèi)抽真空。將爐內(nèi)真空度抽至所需要的工作真空度（一般為 3×10-3 Pa）立即充氣，完成燒結(jié)的整個工藝。

二．真空燒結(jié)的特色

真空燒結(jié)工藝過程：粉狀材料經(jīng)過配料混合壓制成各種需要的形狀，將壓制成型的坯料，放入真空燒結(jié)爐內(nèi)。關(guān)閉爐門抽真空，真空度達到所需的工作真空度（一般為2～3×10-3Pa）開始加熱，（由于材料的不同所采取的工藝過程不同）加熱按工藝曲線加至燒結(jié)溫度，充氣冷卻至出爐溫度，打開爐門取出工件，完成整個燒結(jié)過程。

三．真空燒結(jié)特點

燒結(jié)產(chǎn)品致密性好，硬度高，性能穩(wěn)定。 抽真空系統(tǒng)配置性能優(yōu)越，具有大抽氣量、抽速快，能解決原材料放氣量大的問題。 能滿足不同工藝曲線要求，自動化程度高，檢測系統(tǒng)完善，能避免由于一些人為因素造成的不良影響。燒結(jié)工藝靈活，可根據(jù)不同合同燒結(jié)出不同形狀的產(chǎn)品。

四．真空燒結(jié)設(shè)備

真空燒結(jié)爐 （內(nèi)循環(huán)形式）

適用于稀土永磁材料的真空燒結(jié)、金剛石工具的燒結(jié)（焊接）和真空熱處理工藝。該設(shè)備是在消化吸收國外處理設(shè)備優(yōu)點的基礎(chǔ)上，歷經(jīng)多次改進和完善，具有大抽氣量、高真空度、溫度均勻可控和無滲漏等特點。設(shè)計并生產(chǎn)了有內(nèi)循環(huán)、外循環(huán)、雙室保護進料和多室（臺）組合式進料等多種形式。

真空燒結(jié)爐 （外循環(huán)形式）

適用于批量生產(chǎn)，最高溫度可以達到1450度，壓力可以達到2×10-3pa,壓降率可以達到0.5pa/h,整體溫度的均勻性可以達到±3度.

五．發(fā)展趨勢 真空燒結(jié)工藝是目前比較先進的制造工藝技術(shù)，而且愈來愈多的應(yīng)用在各行業(yè)的燒結(jié)工藝中。例如象半導(dǎo)體、陶瓷、硬材料等的制造工藝中，將越來越廣泛的使用真空燒結(jié)工藝技術(shù)和設(shè)備。

中科同志針對半導(dǎo)體行業(yè)，專門開發(fā)了真空燒結(jié)爐。在晶圓生產(chǎn)、激光器燒結(jié)、激光雷達燒結(jié)等領(lǐng)域積累的豐富的真空燒結(jié)工藝。